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关于公司电子级氢氟酸项目推荐2018年度河南省科学技术奖公示

2018-4-26 15:15:33

根据河南省科技厅《关于2018年度河南省科学技术奖推荐工作的通知》精神,现将公司推荐2018年度河南省科学技术奖项目予以公示。

公示内容包括项目名称、推荐单位、推荐等级、项目简介、推广应用情况、曾获科技奖励情况、主要完成单位及创新推广贡献、主要知识产权证明目录、主要完成人情况。

任何部门和个人对公示项目持有异议的,自公布之日起7日内,请以纸质书面材料形式反映,应注明反映问题人员姓名及联系电话,便于及时回复与解答。


一、项目名称:新一代信息技术产业用超净高纯电子级氢氟酸关键技术开发及产业化

二、推荐单位:焦作市科学技术局

三、推荐等级:技术开发类一等奖

四、项目简介:

超净高纯电子级氢氟酸是集成电路制造的关键材料之一,主要用于芯片清洗、蚀刻等环节,其纯度和洁净度对集成电路缺陷密度、成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。适用于<0.2μm IC工艺技术制作的电子级氢氟酸全部依赖进口。

集成电路是当今信息技术产业高速发展的基础和源动力,其技术水平和发展规模已成为衡量一个国家产业竞争力和综合国力的重要标志之一。我国是全球最大的集成电路消费国,但严重依赖进口,供需严重失衡(2017年中国集成电路进口额2601.4亿美金,贸易逆差1932.6亿美金)。

集成电路产业从软件设计、芯片制造、封装测试,到相关材料、装备等环节与国外有很大差距,我国政府提出要加快追赶和超越步伐,努力实现集成电路产业跨越式发展。多年来,国内科研院所和企业对超净高纯电子级氢氟酸做了大量研究和开发工作,但受制于高纯基础原材料品质等级低、高精尖装备技术水平落后、高纯产品工艺控制水平低、生产环境难以保证等问题,其关键技术长时间被德国、日本等国家掌控,严重制约了我国集成电路及相关产业发展。

为了突破技术瓶颈,项目于2008年开始攻关,从原料纯化到反应工程、技术装备等均取得重大突破,实现了产业化。主要创新点如下:1.首创了特种氧化剂制备及应用技术,提高了产品中砷等杂质相对挥发度,解决了原料纯化关键技术难题,保证了电子级氢氟酸稳定生产。2.设计二次换热流程,保证热媒和冷媒进出换热设备温差;通过HF进料量、冷热媒流量和精馏温度、压力参数联动控制,实现精馏控制精准稳定。3.研制了专用耐腐蚀、防渗透、除杂装备,解决了杂质渗入系统污染问题,保证了产品的纯净度。4.发明了液体集中取样与分析技术,保证了产品检测准确性。同时,利用生产过程产生的废液开发高纯氟化钠,实现了低值资源的高值利用。

通过以上技术创新,突破了集成电路制造用超净高纯电子级氢氟酸提纯关键技术,产品指标达到国际先进水平:主含量(49±0.5)%,氯化物(Cl)≤10ppb,硝酸盐(NO3)≤10ppb,磷酸盐(PO4)≤10ppb,硫酸盐(SO4)≤10 ppb,颗粒(≥0.2μm)≤20个/ml,单个杂质金属离子含量低于10ppt。产品经下游用户使用表明:产品品质优良,完全可替代进口产品。

项目获得授权专利15项,其中发明专利7项;制定了HG/T 4509-2013《工业高纯氢氟酸》行业标准,承担了国家产业振兴与技术改造专项,河南省重大科技专项。目前具备5000吨/年超净高纯电子级氢氟酸生产能力,已实现销售收入2.6亿元,实现利税7577万元。项目实施,对推动我国集成电路产业发展具有支撑作用,对我国化工新材料走精细化、高端化发展之路起到积极示范和带动作用。

五、推广应用情况:

产品应用于德州仪器、上海新昇、重庆超硅等半导体厂商,批量生产稳定供应,反映良好,并且国内多家8寸和12寸半导体客户对产品正在评测,逐步推进替代进口。该产品也得到了国外超纯化学品厂商的认可,稳步扩展海外市场。

六、曾获科技奖励情况:

七、主要完成单位及创新推广贡献:

多氟多化工股份有限公司成立于1999年12月,致力于高性能无机氟化物、含氟电子化学品、锂离子电池及材料、新能源汽车的研发、生产和销售。产品广泛应用于冶金、化工、医药、半导体、交通等行业。股票代码002407,注册资本6.5亿元,总资产70亿元,净资产32亿元,拥有10多家控股子公司,是国家高新技术企业、国家创新型试点企业、国家技术创新示范企业、国家级知识产权示范企业。

拥有国家认定企业技术中心、国家认可实验室、河南省无机氟化学工程技术研究中心、河南省含氟精细化学品工程实验室等研发平台,建立了研发项目管理和核算体系,制定了《科研课题管理办法》、《研发人员激励考核奖励制度》、《科技人才引进与管理办法》等,大力引进和培养专业技术人才,科技人员占职工总数30%以上,打造了一支集技术研发、工程设计、项目实施和组织管理于一体的多专业技术创新团队,并建立合理化建议机制,激励创新和成果转化。每年研发费用占销售收入的3%以上,为项目持续创新奠定了基础。

公司承担国家“863”计划、国家战略性新兴产业、国家强基工程等国家级项目15项,取得国家科技进步二等奖1项,科技成果16项,河南省科技进步奖4项。
    2017年,公司实现销售收入37.36亿元,其中新产品销售收入23.19亿元;实现利润3.52亿元,其中新产品利润1.17亿元;投入研发费用1.60亿元。现拥有职工4941人,其中专职研发人员363人。截至2017年,企业拥有有效专利203项,其中有效发明专利68项。

八、主要知识产权证明目录:

知识产权类别

知识产权具体名称

国家

(地区)

授权号

授权日期

证书编号

权利人

发明人

专利有效状态

发明

一种生产电子级氢氟酸的方法

中国

ZL200810049661.8

2011-12-14

第877463号

多氟多化工股份有限公司

侯红军,刘海霞,杨华春,于贺华,薛旭金,陈宏伟,韩建军,刘海庆,尚钟声,方志超

有效

发明

用于电子化学品生产中除杂的加料反应装置

中国

ZL201510462556.7

2017-12-27

第2868811号

多氟多化工股份有限公司

侯红军,杨华春,李云峰,贾棉,

李贵锋,方志超,王建萍,薛峰峰,司腾飞,冯晓港

有效

发明

一种生产超净高纯氢氟酸的方法

中国

ZL200810049663.7

2011-4-6

第756886号

多氟多化工股份有限公司

李世江,

刘海霞,皇甫根利,

侯红军,杨华春,薛旭金,尚钟声,王慧,

陈大红,杨水艳

有效

发明

一种取样器及其取样筒

中国

ZL201310299988.1

2016-1-13

第1916750号

多氟多化工股份有限公司

郝然,

侯红军,杨华春,李云峰,薛旭金,闫春生,于贺华,刘海霞,李凌云,方志超

有效

发明

一种液体集中取样柜

中国

ZL201310381573.9

2016-1-13

第1917200号

多氟多化工股份有限公司

杨华春,侯红军,李世江,李云峰,薛旭金,闫春生,于贺华,尚钟声,李凌云,刘海庆

有效

发明

一种高纯氟化氢的制备方法及高纯氢氟酸的制备方法

中国

ZL201510342500.8

2017-3-29

第2426682号

多氟多化工股份有限公司

刘海霞,李霞,

侯红军,杨华春,薛旭金,程立静,于贺华,黄小杰,吴海峰,侯利芳

有效

发明

一种利用低品位氟资源生产无水氟化氢联产白炭黑的方法

中国

ZL201110140420.6

2014-3-26

第1366545号

多氟多化工股份有限公司

李世江,

侯红军,

杨华春,

于贺华,

薛旭金,

刘海霞,

王慧,

刘陈红,

陈宏伟,

王建萍

有效

九、主要完成人情况表:

1、姓名:侯红军;排名:1;技术职称:教授级高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2,3,4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,主持完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年获得国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R01;2011年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,六氟磷酸锂生产工艺技术研究及应用,证书编号2011-J-84-R01/10;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R02/10。

2、姓名:杨华春;排名:2;技术职称:教授级高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2,3,4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R02;2012年获得河南省科学技术进步奖叁等奖,再生冰晶石研制开发及应用,证书编号2012-J-254-R01/07;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R03/10;2015获得河南省科学技术进步奖叁等奖,含锂无水氟化铝研制开发及产业化,证书编号2015-J-246-R05/07。

3、姓名:薛旭金;排名:3;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2,3,4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R03;2012年获得河南省科学技术进步奖叁等奖,再生冰晶石研制开发及应用,证书编号2012-J-254-R02/07;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R09/10;2015获得河南省科学技术进步奖叁等奖,含锂无水氟化铝研制开发及产业化,证书编号2015-J-246-R02/07。

4、姓名:闫春生;排名:4;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2,4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R04;2011年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,六氟磷酸锂生产工艺技术研究及应用,证书编号2011-J-84-R05/10;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R06/10。

5、姓名:于贺华;排名:5;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2,4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R05;2012年获得河南省科学技术进步奖叁等奖,再生冰晶石研制开发及应用,证书编号2012-J-254-R03/07;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R02/10;2015获得河南省科学技术进步奖叁等奖,含锂无水氟化铝研制开发及产业化,证书编号2015-J-246-R03/07。

6、姓名:李云峰;排名:6;技术职称:高级经济师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R06;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R04/10。

7、姓名:郝建堂;排名:7;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1,2创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,发表论文,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R07;2011年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,六氟磷酸锂生产工艺技术研究及应用,证书编号2011-J-84-R02/10;2014年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号2014-J-070-R05/10。

8、姓名:尚钟声;排名:8;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第3创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2017年度国家科学技术进步奖贰等奖,锂离子电池核心材料高纯晶体六氟磷酸锂关键技术开发及产业化,证书编号:2017-J-213-2-03-R09。

9、姓名:刘海庆;排名:9;技术职称:工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1、创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:无。

10、姓名:刘海霞;排名:10;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1、2、3创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2011年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,六氟磷酸锂生产工艺技术研究及应用,证书编号2011-J-84-R07/10;2012年获得河南省科学技术进步奖叁等奖,再生冰晶石研制开发及应用,证书编号2012-J-254-R04/07;2015获得河南省科学技术进步奖叁等奖,含锂无水氟化铝研制开发及产业化,证书编号2015-J-246-R01/07。

11、姓名:张小霞;排名:11;技术职称:高级工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1、2创新点作出了创造性贡献,证明材料:参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:2011年获得河南省科学技术进步奖贰等奖,六氟磷酸锂生产工艺技术研究及应用,证书编号2011-J-84-R03/10;2012年获得河南省科学技术进步奖叁等奖,再生冰晶石研制开发及应用,证书编号2012-J-254-R07/07。

12、姓名:冯晓港;排名:12;技术职称:工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1、2创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利;曾获科技奖励情况:无。

13、姓名:薛峰峰;排名:13;技术职称:工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1、2创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利,参与完成河南省重大科技专项;曾获科技奖励情况:无。

14、姓名:王泽国;排名:14;技术职称:工程师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第1创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利;曾获科技奖励情况:无。

15、姓名:程立静;排名:15;技术职称:高级经济师;工作单位:多氟多化工股份有限公司;对本项目技术创造性贡献:对本项目第4创新点作出了创造性贡献,证明材料:授权专利;曾获科技奖励情况:无。

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