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电子级氢氟酸

2017-2-24 10:51:04

电子级氢氟酸是氟化氢的水溶液,为无色透明液体, 在25℃时密度1.15gml(50% HF)。对金属、玻璃、混凝土等具有强烈腐蚀性。电子级氢氟酸作为集成电路(IC)制造的关键性基础化工材料之一,主要用于芯片的清洗和腐蚀,用时可与过氧化氢、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。它的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有着十分重要的影响。有强烈腐蚀性,其蒸气具有刺激性,接触皮肤可引起严重烧伤且不易治愈,应先用大量水冲洗后就医。使用时应戴好防护用具,防止吸入呼吸道。电子级氢氟酸具有品种多、用量大、技术要求高、贮存有效期短和强腐蚀性等特点。

电子级氢氟酸主要用于集成电路制造行业、液晶面板制造行业以及太阳能电池制造行业。目前国内外制备高纯氢氟酸的常用提纯技术有精馏、蒸馏、亚沸蒸馏、气体吸收等技术,其基本都以工业氢氟酸和无水氢氟酸为原料,但均经过粗馏、精馏、吸收、冷凝、膜过滤、灌装等工段。国际高纯试剂等级应符合SEMI国际标准等级。

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截止目前,国内电子级氢氟酸未制定国家标准,各生产厂家根据电子化学分类制定各自企业标准来检验生产的电子级氢氟酸是否满足集成电路所需。基本按照不同用途、不同纯度可分为UP-S级或MOS试剂、UP级和EL级,具体为:

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制备电子级氢氟酸所应用的测试仪器有:电感耦合等离子高频质谱分析仪( ICP - MS);电感耦合等离子原子发射分析仪( ICP - AES);原子吸收分光光度计;氧原子发生无焰原子吸收分析仪;离子色谱分析仪;激光散射液体微粒计数器;水表面杂质分析系统;原子间力显微镜;光学显微镜微粒计数器;扫描电子显微镜;光学膜厚测定和表面仿形仪;表面张力测定仪;空气中尘埃微粒测定仪;水电阻率测定仪等。